高純氣體流量計｜潔凈氣體管道計量儀表 - 多欽儀表 

多欽儀表高純氣體流量計，介質接觸部位采用 316L 不銹鋼可選內壁拋光，適配高純氮氣、高純氬氣、高純氦氣等潔凈氣體，微小吹掃到大流量總管均可測量，支持信號遠傳，潔凈管路卡箍連接可選。

產品概述 

多欽儀表高純氣體 流量計，面向半導體、光伏、制藥、特種材料行業潔凈氣體輸送管線開發，用于高純氣體瞬時流量監測與累積用量計量。

儀表接觸氣體部位選用 316L 不銹鋼為主，可按需做內壁拋光處理，降低氣體吸附，避免介質污染。

產品以熱式氣體質量流量計為核心，搭配金屬管浮子流量計，覆蓋微小吹掃流量到大管徑總管供氣場景，儀表自帶液晶顯示模塊，支持信號遠傳對接控制系統，滿足高潔凈工況計量要求。

工作原理 

熱式氣體質量流量計采用熱擴散傳感原理，直接測量氣體質量流量，無需額外溫壓補償，低流速工況測量穩定，適合高純氣體小流量吹掃、保護氣計量。 

不銹鋼金屬管浮子流量計依靠浮子受力平衡原理，實現現場就地流量顯示，結構簡潔，適合僅需要現場讀取流量的高純氣體管路。

產品特點 

介質接觸件選用 316L 不銹鋼，可選內壁拋光工藝，減少介質吸附殘留，保障管路潔凈度。 

直接質量流量測量型號，受溫度壓力波動影響小，測量數據穩定。

 多種信號輸出可選，4-20mA、RS485-Modbus、脈沖信號，方便遠程采集流量數據。 

防爆版本可選，ExdⅡBT4 防爆等級，適配化工、鋰電防爆潔凈車間。 

量程區間寬，微小流量吹掃和主管路大流量高純氣體輸送都可匹配選型。 

無機械轉動部件款式，運行磨損低，日常維護工作量小。 

多種連接方式，潔凈管路優先卡箍快裝結構，螺紋、法蘭連接按需選擇。

材質與選型說明 

常規高純氣體工況推薦 316L 不銹鋼，高潔凈要求場景增加內壁拋光處理。

 DN4-DN50 小口徑潔凈管道，半導體、光伏設備吹掃保護氣，優先拋光款管段式熱式質量流量計。 

DN50 以上大口徑高純氣體總管，選用插入式熱式質量流量計，降低管道改造費用。

 只需要現場就地讀數，無遠程數據采集需求，選用不銹鋼金屬管浮子流量計。

技術參數 

測量介質：高純氮氣、高純氬氣、高純氦氣等各類潔凈惰性氣體 

公稱口徑：DN4～DN4000 

精度等級：±1.0% FS~±1.5% FS 

介質溫度：-40℃～200℃ 

工作壓力：PN16，高壓版本支持定制 

供電電源：DC24V，部分型號支持 AC220V 供電 

防護等級：IP65 

顯示功能：液晶顯示屏，顯示瞬時流量、累積流量 

連接方式：卡箍快裝，螺紋連接，法蘭連接，插入球閥底座

應用場景 

半導體晶圓制程高純氣體吹掃保護計量。 

光伏電池生產高純氮、高純氬輸送管路流量監測。 

制藥潔凈車間高純惰性氣體用量統計。 

實驗室各類高純氣體供氣管道流量采集。 

特種材料熱處理高純保護氣流量監控。

FAQ 

問題 1，更換測量高純氣體種類，儀表需要重新標定嗎。 

回答，熱式質量流量計氣體介質更換后，需要重新標定參數，保證測量精度。金屬管浮子流量計需要按照新介質參數修正讀數。

問題 2，潔凈管路安裝高純氣體 流量計，優先選哪種連接。 

回答，高純潔凈管路優先選用卡箍快裝連接，拆裝方便，管路死角少，便于管路清潔。

問題 3，內壁拋光對于高純氣體計量有什么作用。 

回答，內壁拋光可以減少氣體吸附，降低介質殘留，維持管路潔凈等級，適配半導體、醫藥等高潔凈要求工況。