免溫壓補(bǔ)償微型氣體流量計(jì)（MEMS 熱式）產(chǎn)品完整資料

一、產(chǎn)品概述

二、核心技術(shù)參數(shù)

基礎(chǔ)規(guī)格

1. 測量原理：MEMS 熱式質(zhì)量傳感，直測質(zhì)量流量，免溫壓補(bǔ)償

2. 適用介質(zhì)：空氣、氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃狻O?等潔凈干燥無腐蝕氣體；潮濕 / 含粉塵氣體前端配精密過濾器即可使用

3. 流量量程（可選）：

• 超微量款：0.1~100 sccm（毫升 / 分鐘）

• 常規(guī)微型款：0.5~50 SLM（升 / 分鐘）

4. 精度：標(biāo)準(zhǔn)款 ±1.0% FS；高精度款 ±0.5% FS

5. 重復(fù)性：≤±0.1% FS

6. 量程比：100:1 寬量程，極低流速穩(wěn)定測量

7. 響應(yīng)時間：10~50ms 可調(diào)，快速捕捉瞬時流量波動

8. 工作溫度：-10℃~60℃；工作壓力：0~1.0MPa

9. 過程接口：G1/8、G1/4、G3/8 內(nèi)螺紋，Φ6/8/10mm 卡套快插，DN6~DN15 微型口徑

10. 接液材質(zhì)：316L 不銹鋼，適配潔凈工藝氣路

11. 信號輸出（多選）：4-20mA、0-5V 電壓、RS485 Modbus-RTU、脈沖信號

12. 供電：9~24VDC 寬電壓；防護(hù)等級 IP40/IP52；可選一體式液晶顯示屏（顯示瞬時 / 累計(jì)流量）

三、產(chǎn)品核心優(yōu)勢

1. 免溫壓補(bǔ)償，簡化整套系統(tǒng)

傳統(tǒng)體積流量計(jì)（渦街、孔板、浮子）必須配套溫度變送器、壓力變送器、流量積算儀做補(bǔ)償，整套管路接線復(fù)雜、多設(shè)備疊加誤差；

本儀表單臺直接輸出標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量，不受氣源溫度、管網(wǎng)壓力波動干擾，減少配件采購、安裝、故障點(diǎn)位，降低項(xiàng)目綜合成本。

2. 微小流量無測量盲區(qū)

可測量 0.01m/s 極低流速，適配微量吹掃、微量反應(yīng)供氣、氣體微量配比、管路泄漏監(jiān)測；

傳統(tǒng)流量計(jì)低流速直接失效，本儀表全量程計(jì)量穩(wěn)定。

3. 無活動部件，低壓損、免維護(hù)

內(nèi)部無葉輪、齒輪、軸承等機(jī)械結(jié)構(gòu)，不會出現(xiàn)卡堵、磨損故障；

直通流道壓力損失極低，不會增加空壓機(jī)、氣瓶供氣負(fù)荷，長期運(yùn)行幾乎無需維護(hù)。

4. 微型化機(jī)身，適配狹小安裝空間

整機(jī)尺寸緊湊，支持機(jī)柜內(nèi)置、實(shí)驗(yàn)臺管路、設(shè)備內(nèi)部集成；

多角度顯示屏可選，狹小空間讀數(shù)方便，無需改造大面積管路。

5. 自動化集成友好

多類型信號輸出，可直連 PLC 定量控制柜、工控機(jī)、數(shù)據(jù)采集儀；

搭配自控閥門可實(shí)現(xiàn)氣體自動定量供氣、多組分氣體自動配比，支持流量上下限報警連鎖。

四、典型應(yīng)用行業(yè) + 落地案例

案例 1：精細(xì)化工微反應(yīng)釜微量保護(hù)氣供給

• 工況：反應(yīng)釜持續(xù)通入微量氮?dú)獗Ｗo(hù)，流量 2~15L/min，車間室溫存在波動，氮?dú)馄繅毫﹄S使用持續(xù)下降；原浮子流量計(jì)壓力下降后計(jì)量偏差超 8%，影響反應(yīng)純度。

• 配置：G1/4 螺紋微型氣體質(zhì)量流量計(jì) + PLC 定量控制模塊

• 使用效果：

• 免溫壓補(bǔ)償設(shè)計(jì)，氣源壓力、溫度變化流量數(shù)值穩(wěn)定，計(jì)量誤差穩(wěn)定在 1% 以內(nèi)；

• 設(shè)定氮?dú)夤┙o流量自動恒流，累計(jì)用氣數(shù)據(jù)自動存儲，原料成本核算精準(zhǔn)。

案例 2：實(shí)驗(yàn)室氣體精密配比設(shè)備（氫氣 + 氮?dú)饣旌蠚猓?/span>

• 工況：多路微量氣體混合，單路流量 0.2~10SLM，實(shí)驗(yàn)環(huán)境晝夜溫差大，需要精準(zhǔn)配比、數(shù)據(jù)可追溯。

• 配置：多路微型 MEMS 氣體質(zhì)量流量計(jì) + 多通道觸摸屏控制柜

• 使用效果：

• 每一路獨(dú)立計(jì)量，無需額外溫壓采集設(shè)備；

• 快速響應(yīng)氣流調(diào)節(jié)，混合氣配比精度穩(wěn)定，每批次實(shí)驗(yàn)流量數(shù)據(jù)本地保存，滿足科研數(shù)據(jù)溯源要求。

案例 3：光伏 / 半導(dǎo)體設(shè)備氬氣吹掃流量監(jiān)控

• 工況：光伏鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體刻蝕機(jī)微量氬氣吹掃，流量 5~30SLM，潔凈車間狹小設(shè)備內(nèi)部安裝，對計(jì)量穩(wěn)定性要求高。

• 配置：小型卡套接口微型氣體質(zhì)量流量計(jì)，RS485 通訊對接設(shè)備中控

• 使用效果：

• 機(jī)身小巧直接集成設(shè)備內(nèi)部，不受車間溫度波動影響；

• 實(shí)時上傳瞬時流量至設(shè)備系統(tǒng)，流量異常自動報警，保障鍍膜、刻蝕工藝穩(wěn)定，提升產(chǎn)品良率。

案例 4：生物制藥發(fā)酵罐氧氣微量補(bǔ)給

• 工況：發(fā)酵罐持續(xù)微量通入氧氣，流量 1~20L/min，車間季節(jié)溫差大，氧氣鋼瓶壓力持續(xù)衰減，需穩(wěn)定控制供氧流量保證菌種活性。

• 配置：高精度 ±0.5% FS 微型氣體質(zhì)量流量計(jì)，聯(lián)動氣動調(diào)節(jié)閥恒流供氣

• 使用效果：

• 免去溫壓補(bǔ)償儀表，管路布線簡化；

• 全年四季供氧流量波動極小，發(fā)酵產(chǎn)物產(chǎn)量穩(wěn)定，符合醫(yī)藥 GMP 工藝參數(shù)記錄規(guī)范。

案例 5：環(huán)保檢測儀器采樣氣流量控制

• 工況：煙氣、空氣在線監(jiān)測設(shè)備內(nèi)置微量采樣氣路，流量 0.1~5SLM，設(shè)備內(nèi)部安裝空間有限。

• 配置：無顯示迷你款微型氣體質(zhì)量流量計(jì)，0-5V 信號輸出接入檢測儀主板

• 使用效果：

• 機(jī)身極小直接嵌入檢測設(shè)備，不受戶外環(huán)境溫度變化干擾，采樣流量恒定，保證廢氣、空氣檢測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。

五、選型關(guān)鍵注意事項(xiàng)

1. 介質(zhì)潔凈度：儀表適配干燥潔凈氣體；氣體含油污、水霧、粉塵時，流量計(jì)上游必須加裝 Y 型精密過濾器 + 氣水分離器，避免污染 MEMS 傳感芯片影響精度。

2. 流量量程匹配：確認(rèn)實(shí)際工作最小、最大流量，選型滿量程為實(shí)際最大流量 1.2 倍左右，保證低流量段精度；超微量 sccm 級工況優(yōu)先選 0.1~100sccm 規(guī)格。

3. 溫壓補(bǔ)償需求：僅需質(zhì)量流量計(jì)量、現(xiàn)場氣源溫壓波動大，優(yōu)先選用本款免溫壓補(bǔ)償微型熱式；若僅需粗略體積讀數(shù)、預(yù)算有限可選用浮子流量計(jì)。

4. 防爆需求：氫氣、甲烷等易燃易爆氣體工況，可選本安防爆款微型氣體質(zhì)量流量計(jì)，適配防爆車間 1 區(qū) / 2 區(qū)環(huán)境。

5. 集成需求：設(shè)備內(nèi)置、實(shí)驗(yàn)臺安裝選迷你無屏款；現(xiàn)場人工讀數(shù)選一體式液晶顯示屏款；對接中控系統(tǒng)優(yōu)先 RS485 Modbus 輸出。

六、售后說明

1. 儀表整機(jī)質(zhì)保 2 年，MEMS 傳感芯片質(zhì)保 2 年；

2. 出廠附帶氣體原廠標(biāo)定證書，支持氮?dú)狻⒖諝狻錃獾冉橘|(zhì)單獨(dú)標(biāo)定；

3. 批量采購可遠(yuǎn)程指導(dǎo)接線、參數(shù)設(shè)置，量大支持上門調(diào)試；

4. 非標(biāo)支持：定制特殊流量量程、防爆外殼、多路流量采集控制柜；

5. 頁面報價僅作參考，成交價格隨采購數(shù)量、選配功能調(diào)整。