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微小流量控制型熱式氣體質量流量計

微小流量控制型熱式氣體質量流量計,是一款集熱式質量流量測量、PID 閉環控制、電動調節閥執行于一體的智能測控設備。采用熱擴散原理 + MEMS 流量傳感芯片,直接測量氣體質量流量,無需溫壓補償;配套高精度電動調節閥,實現流量的自動調節與穩定控制。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-05-21
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產品詳情

微小流量控制型熱式氣體質量流量計  多欽儀表(上海)有限公司選型推薦

專為氣體精密測控與定量控制場景打造,集成熱式質量流量測量 + 電動調節閥閉環控制,實現從流量監測到精準調節的一體化解決方案。


一、核心亮點|一眼看懂價值

? 測量 + 控制一體化:自帶電動調節閥,實現流量閉環控制,無需額外閥門
? 微小流量精準適配:MEMS 傳感芯片,支持 sccm~slm 級超小量程,無溫漂、無壓漂
? 自帶本地顯示與按鍵:瞬時 / 累計流量 + 設定值同屏顯示,現場直接調試
? 全信號兼容:4-20mA/0-5V 模擬信號 + RS485 Modbus 數字通訊,PLC 直連
? PID 智能閉環算法:流量波動自動修正,控制精度可達 ±1.0% FS
? 標準螺紋接口:適配 DN8/DN15 管路,即裝即用,無需復雜改造
? 防爆 / 防腐可選:支持襯四氟、防爆外殼,適配腐蝕性氣體與危險工況
? 多氣體標定:支持氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、甲烷等多種介質,可定制標定


二、產品概述

微小流量控制型熱式氣體質量流量計,是一款集熱式質量流量測量、PID 閉環控制、電動調節閥執行于一體的智能測控設備。采用熱擴散原理 + MEMS 流量傳感芯片,直接測量氣體質量流量,無需溫壓補償;配套高精度電動調節閥,實現流量的自動調節與穩定控制。
設備廣泛應用于實驗室氣相配比、半導體制程供氣、醫療設備流量控制、工業氣體混合等場景,是傳統 “流量計 + 手動閥 / 比例閥" 方案的理想升級替代。


三、技術參數|精準可信

參數項規格說明
測量原理熱式質量流量(MEMS 傳感)
控制方式PID 閉環控制 + 電動調節閥
測量精度±1.0%FS
控制精度±1.5%FS
重復性±0.2%FS
量程范圍0.01sccm ~ 1000NL/min(可定制微小 / 大量程)
量程比1:100(部分型號可達 1:200)
介質溫度-10~60℃(可擴展 - 20~120℃)
工作壓力≤1.6MPa(可定制高壓版)
工作電源DC24V ±10%
功耗≤8W
設定信號0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 數字信號
反饋信號4-20mA / RS485 Modbus RTU
通訊協議Modbus RTU(標準),支持自定義協議
機械接口G1/4、G1/2、NPT1/4、NPT1/2(可定制)
閥體材質不銹鋼 304/316L(可選襯四氟防腐)
防護等級IP65(可選防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga)
適用氣體空氣、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清潔氣體,腐蝕性氣體可定制
預熱時間3~5 分鐘


四、核心優勢|為什么選我們

1. 測量 + 控制一體化,省心高效

  • 流量計與調節閥集成設計,省去單獨選型、安裝閥門的步驟,減少泄漏點

  • PID 閉環算法自動修正流量波動,即使上游壓力波動,出口流量依然穩定

  • 本地顯示 + 按鍵調試,無需上位機即可設置目標流量、參數校準,現場調試效率更高

2. 微小流量測量更精準穩定

  • MEMS 微傳感芯片,響應速度快、零點長期穩定,免頻繁校準

  • 直接測量質量流量,不受介質溫度、壓力波動影響,測量誤差更小

  • 超小量程覆蓋,解決傳統設備難以穩定測量的 sccm 級微量供氣場景

3. 適配更多復雜工況

  • 不銹鋼閥體 + 可選襯四氟防腐,適配弱腐蝕性氣體(如氨氣、硫化氫)

  • 可選防爆外殼與本安設計,滿足化工、石化等危險區域使用要求

  • 支持高壓定制,適配高壓氣瓶供氣、高壓反應釜吹掃等場景

4. 集成與維護更便捷

  • 標準螺紋接口,適配實驗室、設備集成等多種安裝場景

  • 支持多臺組網控制,通過 RS485 實現多通道氣體配比自動化

  • 關鍵部件采用進口電動調節閥芯,壽命長、維護成本低,支持故障自診斷


五、功能與操作|快速上手

1. 面板按鍵與顯示

  • 顯示界面:主界面顯示瞬時流量、累計流量、目標設定值;參數界面顯示介質、單位、通訊參數等

  • 按鍵功能

    • 設定鍵:修改目標流量值、切換控制模式(本地 / 遠程)

    • 菜單鍵:進入參數設置界面(量程、單位、PID 參數、通訊地址)

    • 確認 / 退出鍵:保存設置或返回主界面

2. 通訊與控制配置

  • 默認通訊參數:9600bps,8 數據位,無校驗,1 停止位(Modbus RTU)

  • 可配置項:設備地址、波特率、校驗方式、流量單位(sccm/slm/NL/min)、標況溫度、報警閾值

  • 控制模式:

    • 本地控制:通過面板按鍵直接設定目標流量,調節閥自動調節

    • 遠程控制:通過模擬量信號或 RS485 數字信號設定目標流量,實現上位機 / PLC 自動化控制

3. 安裝與接線說明

  • 安裝方式:水平 / 垂直安裝均可,建議介質流向與閥體標注方向一致

  • 安裝要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免彎頭、閥門直接靠近閥體,影響流場穩定

  • 接線接口:航空插頭 / 端子排可選,支持電源、信號、通訊一體化接線,防松防脫落


六、典型應用場景|全覆蓋

  • 實驗室科研:氣相色譜儀、微反應裝置氣體配比、催化劑測試供氣控制

  • 半導體制程:晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導體設備工藝供氣

  • 醫療與生物設備:呼吸機氧流量控制、麻醉機氣體配比、醫用制氧設備流量調節

  • 工業自動化:氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣

  • 新能源行業:鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試、氫能加注流量控制

  • 化工行業:弱腐蝕性氣體微量控制、反應釜吹掃、尾氣監測


七、選型指南|3 步精準匹配

  1. 確定氣體介質標況單位(sccm/slm/NL/min)

  2. 確定流量控制范圍(如 0~100sccm、0~5slm)與工作壓力 / 溫度

  3. 確定控制與信號方式(本地 / 遠程控制、模擬量 / 數字量輸出)及特殊工況需求(防腐 / 防爆)


八、質保與售后

  • 出廠前全流程標定與老化測試,確保性能穩定可靠

  • 質保期:2 年質保,非人為損壞故障免費維修 / 更換

  • 提供全程技術支持:選型咨詢、接線指導、參數調試、現場技術支持

  • 可定制服務:量程定制、氣體標定、接口定制、特殊工況適配(高壓 / 防爆 / 防腐)

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