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微小流量控制型熱式氣體質量流量計
產品型號:
廠商性質:生產廠家
更新時間:2026-05-21
訪 問 量:1284
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聯系電話:17701683668
| 參數項 | 規格說明 |
|---|---|
| 測量原理 | 熱式質量流量(MEMS 傳感) |
| 控制方式 | PID 閉環控制 + 電動調節閥 |
| 測量精度 | ±1.0%FS |
| 控制精度 | ±1.5%FS |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 量程范圍 | 0.01sccm ~ 1000NL/min(可定制微小 / 大量程) |
| 量程比 | 1:100(部分型號可達 1:200) |
| 介質溫度 | -10~60℃(可擴展 - 20~120℃) |
| 工作壓力 | ≤1.6MPa(可定制高壓版) |
| 工作電源 | DC24V ±10% |
| 功耗 | ≤8W |
| 設定信號 | 0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 數字信號 |
| 反饋信號 | 4-20mA / RS485 Modbus RTU |
| 通訊協議 | Modbus RTU(標準),支持自定義協議 |
| 機械接口 | G1/4、G1/2、NPT1/4、NPT1/2(可定制) |
| 閥體材質 | 不銹鋼 304/316L(可選襯四氟防腐) |
| 防護等級 | IP65(可選防爆 Ex ia ⅡC T4 Ga) |
| 適用氣體 | 空氣、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清潔氣體,腐蝕性氣體可定制 |
| 預熱時間 | 3~5 分鐘 |
流量計與調節閥集成設計,省去單獨選型、安裝閥門的步驟,減少泄漏點
PID 閉環算法自動修正流量波動,即使上游壓力波動,出口流量依然穩定
本地顯示 + 按鍵調試,無需上位機即可設置目標流量、參數校準,現場調試效率更高
MEMS 微傳感芯片,響應速度快、零點長期穩定,免頻繁校準
直接測量質量流量,不受介質溫度、壓力波動影響,測量誤差更小
超小量程覆蓋,解決傳統設備難以穩定測量的 sccm 級微量供氣場景
不銹鋼閥體 + 可選襯四氟防腐,適配弱腐蝕性氣體(如氨氣、硫化氫)
可選防爆外殼與本安設計,滿足化工、石化等危險區域使用要求
支持高壓定制,適配高壓氣瓶供氣、高壓反應釜吹掃等場景
標準螺紋接口,適配實驗室、設備集成等多種安裝場景
支持多臺組網控制,通過 RS485 實現多通道氣體配比自動化
關鍵部件采用進口電動調節閥芯,壽命長、維護成本低,支持故障自診斷
顯示界面:主界面顯示瞬時流量、累計流量、目標設定值;參數界面顯示介質、單位、通訊參數等
按鍵功能:
設定鍵:修改目標流量值、切換控制模式(本地 / 遠程)
菜單鍵:進入參數設置界面(量程、單位、PID 參數、通訊地址)
確認 / 退出鍵:保存設置或返回主界面
默認通訊參數:9600bps,8 數據位,無校驗,1 停止位(Modbus RTU)
可配置項:設備地址、波特率、校驗方式、流量單位(sccm/slm/NL/min)、標況溫度、報警閾值
控制模式:
本地控制:通過面板按鍵直接設定目標流量,調節閥自動調節
遠程控制:通過模擬量信號或 RS485 數字信號設定目標流量,實現上位機 / PLC 自動化控制
安裝方式:水平 / 垂直安裝均可,建議介質流向與閥體標注方向一致
安裝要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免彎頭、閥門直接靠近閥體,影響流場穩定
接線接口:航空插頭 / 端子排可選,支持電源、信號、通訊一體化接線,防松防脫落
實驗室科研:氣相色譜儀、微反應裝置氣體配比、催化劑測試供氣控制
半導體制程:晶圓腔體吹掃、微量載氣控制、半導體設備工藝供氣
醫療與生物設備:呼吸機氧流量控制、麻醉機氣體配比、醫用制氧設備流量調節
工業自動化:氣體混合配比、檢漏測試、燃燒過程控制、精密噴涂供氣
新能源行業:鋰電池注液保護氣控制、燃料電池供氣測試、氫能加注流量控制
化工行業:弱腐蝕性氣體微量控制、反應釜吹掃、尾氣監測
確定氣體介質與標況單位(sccm/slm/NL/min)
確定流量控制范圍(如 0~100sccm、0~5slm)與工作壓力 / 溫度
確定控制與信號方式(本地 / 遠程控制、模擬量 / 數字量輸出)及特殊工況需求(防腐 / 防爆)
出廠前全流程標定與老化測試,確保性能穩定可靠
質保期:2 年質保,非人為損壞故障免費維修 / 更換
提供全程技術支持:選型咨詢、接線指導、參數調試、現場技術支持
可定制服務:量程定制、氣體標定、接口定制、特殊工況適配(高壓 / 防爆 / 防腐)
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