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氮氣用質量流量計

氮氣用質量流量計,基于熱擴散原理,專為干燥潔凈氮氣、高純氮氣、微量 / 小流量氮氣設計,直接測量質量流量(Nm³/h/kg/h),無需溫壓補償,不受溫度、壓力波動影響,是低壓、小流量、高純氮氣計量的常用儀表。廣泛應用半導體、電子、制藥、食品、冶金、實驗室等行業的氮氣保護、供氣配比、充裝及能耗精準計量。

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  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2026-05-21
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產品詳情

氮氣用質量流量計(熱式氣體質量流量計)多欽儀表(上海)有限公司選型推薦


一、產品概述

氮氣專用熱式氣體質量流量計,基于熱擴散原理,專為干燥潔凈氮氣、高純氮氣、微量 / 小流量氮氣設計,直接測量質量流量(Nm3/h/kg/h),無需溫壓補償,不受溫度、壓力波動影響,是低壓、小流量、高純氮氣計量的常用儀表。廣泛應用半導體、電子、制藥、食品、冶金、實驗室等行業的氮氣保護、供氣配比、充裝及能耗精準計量。


二、測量原理

采用恒溫差熱擴散技術,傳感器含兩個鉑電阻(RTD):
  • 速度傳感器:加熱至高于介質溫度的恒定溫差;

  • 溫度傳感器:實時感應氮氣溫度,自動補償。

    氮氣流過傳感器時帶走熱量,維持溫差所需加熱功率與氮氣質量流量成正比,直接換算標方流量,無需溫壓補償。


三、核心優勢(氮氣適配專屬)

  1. 直接質量流量:無需溫壓補償,直接輸出 Nm3/h,適配氮氣壓力 / 溫度波動工況;

  2. 超高量程比100:1可測0.05m/s低流速,微小氮氣流量靈敏穩定;

  3. 無壓損 / 低阻力:插入式 / 管段式設計,接近零壓力損失,適配低壓氮氣管道;

  4. 高純氮適配:316L 不銹鋼材質,無吸附、無污染,滿足半導體 / 制藥高純氮要求;

  5. 免維護:無可動部件,無磨損、無卡澀,長期穩定,年均維護成本低;

  6. 響應快:響應時間<1 秒,適配氮氣配比、動態流量控制場景。


四、技術參數(氮氣專用標定)

  • 精度等級:管道式 ±0.5%~±1.0% FS;插入式 ±1.0%~±1.5% FS;

  • 公稱口徑:DN4~DN200(管道式);DN200~DN1000(插入式);

  • 流量范圍:0.01~1000Nm3/h(氮氣標況:20℃/101.33kPa);

  • 介質溫度:-20℃~+80℃(常規);可定制 - 40℃~+150℃高溫款;

  • 工作壓力:0~1.6MPa(常規);最高可定制 40MPa 高壓款;

  • 材質:接液 304/316L 不銹鋼;外殼鋁合金 / 不銹鋼;

  • 輸出信號:4-20mA、RS485(Modbus)、HART、脈沖、液晶就地顯示;

  • 供電:24VDC 外供電;可選 3.6V 鋰電池(續航 2~5 年);

  • 防爆等級:Ex d Ⅱ BT4、Ex ia Ⅱ BT6(適配防爆車間);

  • 重復性:±0.2% FS,長期計量穩定。

氮氣用質量流量計


五、氮氣典型應用場景

  1. 半導體 / 電子:高純氮氣(99.999%)輸送、晶圓保護氣、腔體吹掃;

  2. 制藥 / 食品:氮氣保鮮、無菌氮氣供氣、粉體輸送保護氣;

  3. 冶金 / 熱處理:爐內氮氣保護、密封氮氣、淬火氮氣配比;

  4. 實驗室 / 科研:微量氮氣配比、氣體分析儀供氣、小流量精準控制;

  5. 空分 / 制氮:制氮機出口流量監測、氮氣充裝、能耗統計。


六、氮氣用質量流量計選型指南(氮氣工況匹配)

  • 微小 / 小流量(<10Nm3/h)、高純氮:選DN4~DN50 管道式,精度 ±0.5%,適配實驗室 / 半導體;

  • 中小流量(10~100Nm3/h)、工業氮:選DN50~DN200 管道式,性價比高,適配廠區供氣;

  • 大口徑(>DN200)、低壓主管:選插入式,安裝便捷、成本低,適配制氮機總管;

  • 防爆車間 / 危險區域:選隔爆 / 本安型,Ex d Ⅱ BT4,適配防爆氮氣管道。


七、安裝要點(氮氣測量精準關鍵)

  1. 直管段:上游≥5DN、下游≥3DN,避免彎頭、閥門等擾動;

  2. 安裝方式:水平 / 垂直管道均可,傳感器探頭正對流向,避免氣泡 / 雜質附著;

  3. 介質潔凈:氮氣需干燥潔凈,無油、無水、無粉塵,防止傳感器污染;

  4. 遠離振動:避開泵、風機等強振動源,必要時加裝減振支架;

  5. 環境:避免陽光直射、高溫(>80℃)、潮濕(濕度<95%)環境。


八、通用配置與定制

  • 標準配置:316L 傳感器、液晶顯示、4-20mA+RS485、24VDC 供電;

  • 定制服務:高壓(≤40MPa)、高溫(≤150℃)、防爆、特殊口徑、氮氣專用標定、遠程通訊(云端對接)。


九、售后保障

  • 質保期2 年(非人為損壞);

  • 技術服務:免費工況選型、參數匹配、安裝指導、上門調試

  • 校準服務:每年 1 次免費校準,高純氮工況每半年 1 次;

  • 價格說明:以上為參考價,最終報價以氮氣工況(口徑、壓力、流量、純度)為準。

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