高純氮?dú)饬髁坑?jì)選型方案（純度 99.99%/5N、半導(dǎo)體、電子、光伏、實(shí)驗(yàn)室專用）

多欽儀表（上海）有限公司推薦

高純氮?dú)夂诵囊螅?span style="font-size: 14px; font-family: arial, helvetica, sans-serif; font-variant-numeric: normal; font-variant-east-asian: normal; font-variant-alternates: normal; font-size-adjust: none; font-kerning: auto; font-optical-sizing: auto; font-feature-settings: normal; font-variation-settings: normal; font-variant-position: normal; font-variant-emoji: normal; font-stretch: normal; line-height: 24px; flex: 0 1 auto; flex-direction: row; justify-content: normal; align-items: normal; padding: 0px; margin: 0px; background-image: none; background-position: 0% 0%; background-size: auto; background-repeat: repeat; background-attachment: scroll; background-origin: padding-box; background-clip: border-box;">內(nèi)壁無(wú)析出、無(wú)粉塵污染、極低泄漏、全程干燥潔凈，過(guò)流件必須采用電解拋光 316L EP 不銹鋼，密封選用 FFKM 全氟橡膠，杜絕雜質(zhì)污染氮?dú)饧兌龋恢髁鞣?4 類儀表，按流量、精度、管徑區(qū)分選用。

高純氮?dú)饬髁坑?jì)分類介紹：

一、優(yōu)選：潔凈型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)（工業(yè)高純氮總管 / 分支通用）

1. 測(cè)量原理

2. 高純專用潔凈結(jié)構(gòu)要求

• 管體、探桿：316L EP 電解拋光，內(nèi)壁 Ra≤0.4μm、不積塵、不析出金屬微粒；

• 傳感器探頭 316L 不銹鋼，無(wú)普通涂層脫落風(fēng)險(xiǎn)；

• 密封件 FFKM 全氟橡膠，不釋放有機(jī)物污染高純氣；

• 法蘭采用 RF 突面 / 卡箍衛(wèi)生連接，無(wú)溝槽死角；

• 出廠真空吹掃、潔凈包裝，安裝前可在線吹掃。

3. 兩種結(jié)構(gòu)

1. 管段一體式（DN15~DN200 制氮純化出口、車間高純氮支管）

   整機(jī)出廠標(biāo)定，精度 ±1.0% FS，量程比 100:1，微小置換、吹掃流量均可計(jì)量；自帶就地液晶顯示瞬時(shí) / 累積。

2. 

3. 插入式潔凈熱式（DN300 以上廠區(qū)高純氮主干改造）

   帶壓球閥底座，可抽出探頭清洗，不停產(chǎn)維護(hù)；探桿 EP 拋光，大口徑造價(jià)更低，壓損幾乎為零。

4. 

4. 適用場(chǎng)景

1. 制氮機(jī)純化塔出口總高純氮計(jì)量；

2. 半導(dǎo)體、光伏、鋰電池生產(chǎn)線氮封、吹掃、載氣；

3. 醫(yī)藥潔凈車間無(wú)菌保護(hù)氣、反應(yīng)釜高純氮置換；

4. 多支路高純氮?dú)饽芎姆謹(jǐn)偨y(tǒng)計(jì)。

優(yōu)缺點(diǎn)

二、超高精度貿(mào)易 / 實(shí)驗(yàn)室：科里奧利（科氏）質(zhì)量流量計(jì)

1. 核心優(yōu)勢(shì)

2. 潔凈配置

3. 局限

適用：高純氮貿(mào)易結(jié)算、半導(dǎo)體精密配氣、液氮汽化高純氮計(jì)量。

三、中大流量穩(wěn)定輸送：潔凈型溫壓補(bǔ)償渦街流量計(jì)

1. 結(jié)構(gòu)材質(zhì)要求

2. 參數(shù)

適用場(chǎng)景

短板：下限流速存在測(cè)量盲區(qū)，微量吹掃流量無(wú)法精準(zhǔn)計(jì)量。

四、小管徑就地目視監(jiān)測(cè)：潔凈金屬管浮子流量計(jì)

1. 潔凈配置

2. 參數(shù)

適用：?jiǎn)闻_(tái)設(shè)備微量高純氮吹掃、實(shí)驗(yàn)室支路簡(jiǎn)易流量觀測(cè)，僅人工巡檢，不做高精度能耗結(jié)算。

五、高純氮?dú)鈨x表統(tǒng)一強(qiáng)制材質(zhì)規(guī)范（關(guān)鍵，避免純度下降）

1. 過(guò)流金屬件：316L EP 電解拋光不銹鋼，禁止普通 304、粗糙內(nèi)壁；

2. 密封墊片：FFKM 全氟橡膠，禁用 NBR、EPDM 普通橡膠（易析出有機(jī)物）；

3. 管路配套閥門：波紋管閥 / 隔膜閥，禁止普通閘閥、截止閥（易產(chǎn)生金屬碎屑）；

4. 前置過(guò)濾：高純專用精密濾芯（0.01μm），攔截微量粉塵、水汽。

六、選型快速對(duì)照表

七、高純管路安裝專用規(guī)范

1. 直管段

• 管段熱式：上游≥10D，下游≥5D；插入熱式 / 渦街上游≥20D；流場(chǎng)紊亂加裝蜂窩整流器；

2. 管路配套（高純）

   上游高純精密過(guò)濾器、管道低點(diǎn)自動(dòng)排水閥、前后波紋管切斷閥 + 旁路波紋管三通；振動(dòng)管路加減振軟接頭；

3. 安裝姿態(tài)

   水平管道探頭置于管道上半?yún)^(qū)，防止微量冷凝水浸泡元件；垂直管道氣流自下而上；

4. 潔凈施工要求

   儀表進(jìn)場(chǎng)全程防塵密封；安裝前整條管路氮?dú)獯祾咧脫Q；法蘭墊片一次性全新 FFKM，禁止重復(fù)使用；

5. 防爆潔凈車間

   法蘭銅編織防靜電跨接，整機(jī)獨(dú)立接地；防爆屏蔽線纜、防爆撓性管；檢修前斷電、氮?dú)庵脫Q管路，杜絕雜質(zhì)、油污進(jìn)入流道。

八、高純儀表維護(hù)特殊要求

1. 每周：檢查前置高純過(guò)濾器壓差，及時(shí)更換濾芯，排放微量冷凝水；

2. 每半年：拆洗熱式探頭、渦街發(fā)生體，全程無(wú)塵潔凈操作，使用高純氮?dú)獯祾撸?/span>

3. 每年：高純氮?dú)饨橘|(zhì)實(shí)流標(biāo)定，同時(shí)檢查 EP 內(nèi)壁有無(wú)劃傷、密封是否老化；

4. 長(zhǎng)期停機(jī)：管路持續(xù)小流量高純氮保壓吹掃，防止空氣、水汽滲入污染流道。

九、標(biāo)準(zhǔn)成套配置（DN200 純化塔出口高純氮熱式）

質(zhì)保 2 年，價(jià)格為參考價(jià)；

可按需定制 PN40 高壓、卡箍衛(wèi)生連接、NB-IoT 無(wú)線遠(yuǎn)傳，支持高純氮?dú)饨橘|(zhì)標(biāo)定、上門無(wú)塵吹掃安裝調(diào)試。